電子特氣產(chǎn)品:紐瑞德特種氣體
由于現(xiàn)在科技的發(fā)展和技術(shù)的提升,關(guān)于一些高精尖技術(shù)的制造材料也越來(lái)越被大家所熟知,在像芯片制造行業(yè)中,就需要一些更為尖端的材料,例如高純硅烷、高純氨、高純笑氣、氖氣等電子特氣就是作為半導(dǎo)體電子行業(yè)應(yīng)用的一種特種氣體,向來(lái)被稱之為電子行業(yè)的“血液“,它被廣泛運(yùn)用于半導(dǎo)體各種制造工藝過程當(dāng)中。
電子特氣對(duì)氣體質(zhì)量要求非常高,我國(guó)一直以來(lái)大多還是依靠進(jìn)口,目前我國(guó)部分產(chǎn)品已獲得突破,高純硅烷、高純氨、高純笑氣、氖氣、高純CL2、高純砷烷和高純鍺烷等均獲得突破。但是國(guó)內(nèi)電子特氣行業(yè)還有一些難以突破的技術(shù)壁壘。
一是深度提純技術(shù)難度較大。以硅烷為例,將其純度由4N提純到6N中間有漫長(zhǎng)的道路,除了要解決普通氣態(tài)雜質(zhì)的純化問題,還要將金屬元素凈化到10-9級(jí)至10-12級(jí)。二是包裝和儲(chǔ)運(yùn)跟不上。超高純氣體的生產(chǎn)和應(yīng)用都要求使用高質(zhì)量的氣體包裝儲(chǔ)運(yùn)容器、相應(yīng)的氣體輸送管線、閥門和接口,以避免二次污染的發(fā)生。三是分析檢驗(yàn)觀念落后。國(guó)內(nèi)對(duì)電子氣體生產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域分析檢測(cè)技術(shù)研究開發(fā)尚不夠重視。
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