四氟化碳：微電子工業(yè)中的必備刻蝕氣體
四氟化碳：微電子工業(yè)中的必備刻蝕氣體
四氟化碳是微電子工業(yè)中使用最廣泛的等離子燭刻氣體，其高純度與四氟化碳
高純度與高純度氧混合。
1. 可廣泛應(yīng)用于燭刻硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃和鎢膜材料。對(duì)于硅和
二氧化硅系統(tǒng)，通過(guò)調(diào)整兩種氣體的比例，可以獲得45：1的選擇性，這在二
氧化硅薄膜上刻蝕多晶硅格柵非常有用。
2. 它還廣泛應(yīng)用于電子設(shè)備表面清潔、太陽(yáng)能電池生產(chǎn)、激光技術(shù)、氣相絕緣、
低溫制冷、泄漏檢測(cè)劑、宇宙火箭控制姿勢(shì)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等。
3. 由于其強(qiáng)大的化學(xué)穩(wěn)定性，CF4還可以應(yīng)用于金屬冶煉和塑料工業(yè)。
4. 四氟化碳具有很好的溶解氧，因此被科學(xué)家用于超深度潛水試驗(yàn)，而非普通
壓縮空氣�，F(xiàn)在，它已成功地在275米至366米的深度內(nèi)，老鼠仍能安全地?cái)[脫
危險(xiǎn)。
儲(chǔ)存四氟化碳
1. 根據(jù)國(guó)家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局《氣瓶安全監(jiān)督條例》的規(guī)定，使用和檢驗(yàn)氣瓶。
2. 氣瓶不能靠近火源，不能暴露在陽(yáng)光下，與明火的距離一般不小于10米，
氣瓶不能碰撞。
3. 氣瓶嚴(yán)禁沾油。
4. 氣瓶?jī)?nèi)的氣體不能全部耗盡，應(yīng)留下不小于0.04MPa的剩余壓力。
四氟化碳鋼瓶包裝在鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶中，產(chǎn)品純度為99.999%。多年來(lái)，武漢紐
瑞德氣體公司一直專業(yè)供應(yīng)四氟化碳。紐瑞德是購(gòu)買四氟化碳的首選。
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