為何電子特氣生產(chǎn)技術門檻極高？
為何電子特氣生產(chǎn)技術門檻極高？
電子特氣的“特”，就特在純凈度要求非常高，純度是指主要成分
含量越高越好，潔凈度是指雜質(zhì)殘留量越低越好。90納米工藝的
純度要求在5到6N之間，這里的N指的是純度百分比中9的數(shù)量。
同時，雜質(zhì)要求低于10的負9次方，即10億分之一。28納米甚至
7納米和5納米工藝對電子特殊氣體的純度要求更高，金屬元素要
凈化到萬億分之一，相當于20個標準游泳池的水中雜質(zhì)量不能超
過1滴水的量。為什么這種極其嚴格的純度？
如此嚴格的要求導致電子特氣生產(chǎn)技術的門檻很高，需要長期的
積累和研發(fā)投入。與此同時，生產(chǎn)過程中使用了大量的精密儀器
設備，這是第一個難點。二是資質(zhì)壁壘，電子特氣質(zhì)量對電氣產(chǎn)
品性能影響較大，一旦出現(xiàn)質(zhì)量問題，下游客戶將遭受巨大損失。
為了保持氣體供應的穩(wěn)定性，客戶在與氣體供應商建立合作關系
后，不會輕易更換氣體供應商。如果他們想進入，他們必須經(jīng)過
嚴格的審查和認證。這個周期一般持續(xù)2到3年。由于發(fā)達國家電
子信息產(chǎn)業(yè)起步較早，在技術、資金、人才等方面具有先發(fā)優(yōu)勢
，中國不得不長期依賴進口，超過85%的市場份額被美國、法國
、德國、日本等國家的企業(yè)壟斷，尤其是超高純特氣，幾乎完全
依賴進口，賣不賣，賣多少都要看他們自己的決定。因此，我國
必須盡快開發(fā)出國產(chǎn)化的關鍵電子特氣技術，化解“卡脖子”的風
險，牢牢把握國民經(jīng)濟的安全命脈。從技術角度來看，中國電子
氣體行業(yè)需要在以下幾個方面有所突破:一是凈化材料、氣體終端
凈化器的核心材料，如催化劑、吸附劑、膜材料等。；二是新產(chǎn)
品、新技術、電子特氣更新快，新產(chǎn)品的研發(fā)和混合技術跟不上
國外的研發(fā)速度。目前國內(nèi)三氟化氮、六氟化硫等電子特氣產(chǎn)品
已逐步淘汰；第三，在設備方面，與高純氣體接觸的設備必須符
合清潔標準，否則釋放的微量雜質(zhì)會污染電子氣體，生產(chǎn)所需的
容器、管道閥門等。近年來，經(jīng)過多年的自主研發(fā)，中國一些企
業(yè)已經(jīng)量產(chǎn)了一些電子特種氣體產(chǎn)品，并通過了國際龍頭企業(yè)的
認證。未來，更多的產(chǎn)品將陸續(xù)進入全球半導體供應鏈體系。
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