準(zhǔn)分子激光的應(yīng)用領(lǐng)域
準(zhǔn)分子激光的應(yīng)用領(lǐng)域
用于準(zhǔn)分子激光的氣體類型主要包括稀有氣體鹵化物和氧化物。
在激發(fā)狀態(tài)下，準(zhǔn)分子激光器通常使用稀有氣體鹵化物作為工
作物質(zhì)產(chǎn)生激光。常見的準(zhǔn)分子激光氣體包括：
氪氟（KrF）：發(fā)射波長為248 nm，常用于半導(dǎo)體光刻。
氬氟（ArF）：發(fā)射波長為193 nm，在半導(dǎo)體光刻和眼科屈光
度校正手術(shù)中應(yīng)用廣泛。
氙氯（XeCl）：發(fā)射波長為308 nm，低溫多晶硅退火主要用于
面板顯示制造。
這些氣體通過高壓放電激勵(lì)在準(zhǔn)分子激光器中產(chǎn)生高能紫外激
光，具有波長、能量大、脈寬窄的特點(diǎn)，適用于高精度加工和
醫(yī)療應(yīng)用。
一.準(zhǔn)分子激光器的參數(shù)
1. 波長：準(zhǔn)分子激光波長范圍廣，常用波長為193nmm、248
nm、308nm、350nm、351nm等。
2. 輸出功率：準(zhǔn)分子激光器的輸出功率一般為mW級(jí)，常用輸
出功率為5mW。、10mW、20mW、50mW等。
3. 脈寬：準(zhǔn)分子激光器脈寬一般為10納秒量級(jí)，常用脈寬為
8ns、10ns、20ns等。
4. 重復(fù)頻率：準(zhǔn)分子激光器的重復(fù)頻率一般在1-100Hz之間，
常用的重復(fù)頻率為10Hz。、20Hz、50Hz等。
5. 穩(wěn)定性:準(zhǔn)分子激光器的穩(wěn)定性主要包括波長穩(wěn)定性、功率
穩(wěn)定性和重復(fù)穩(wěn)定性。穩(wěn)定性越好，激光輸出信號(hào)越穩(wěn)定，
適用于激光參數(shù)精度要求越高的場合。
二、激光性能受不同參數(shù)的影響
不同參數(shù)對(duì)準(zhǔn)分子激光性能的影響如下：
1. 波長：波長是準(zhǔn)分子激光的重要參數(shù)之一。193nm激光適
用于半導(dǎo)體加工等高精度工藝場合，308nm激光適用于皮膚
病患者的治療，不同的波長激光用于不同的材料加工和醫(yī)療
美容。
2. 輸出功率:輸出功率越高，能量密度越高，穿透力越強(qiáng)，適
用于深層組織的切割和燒蝕。但同時(shí)，高功率激光也會(huì)對(duì)組
織造成熱損傷，因此需要在醫(yī)療美容領(lǐng)域謹(jǐn)慎使用。
3. 脈沖寬度：脈沖寬度越短，脈沖強(qiáng)度越大，光能越容易穿
透樣品，總能量越少。所以，短脈沖激光通常適用于高速加
工場合。
4. 重復(fù)頻率:重復(fù)頻率越高，輸出能量越大，但長期連續(xù)使用
會(huì)加重光學(xué)元件和激光介質(zhì)的磨損。同時(shí)，重復(fù)頻率過高也
會(huì)導(dǎo)致激光內(nèi)部溫度升高，降低激光的穩(wěn)定性。
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