氨氣、硅烷及笑氣在電子行業(yè)的重要性
氨氣、硅烷及笑氣在電子行業(yè)的重要性
電子氣體多為集中供應，可分為氮氣、氫氣、氬氣、氦氣、氧氣、二氧化碳等大宗氣
體；電子特種氣體包括笑氣、氨氣、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氫、四氟環(huán)丁
烷、甲烷等氣體。
電子氣體是電子工業(yè)生產(chǎn)中不可缺少的原材料，如超大型集成電路、平面顯示器件、
化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等。廣泛應用于薄膜、蝕刻、摻雜、氣相沉積
、擴散等工藝。隨著我國超大型集成電路、平板電腦、光伏發(fā)電等行業(yè)的快速發(fā)展，
電子氣體市場需求顯著增加。
一、什么是電子氣體？
1、電子氣體的含義：氣體工業(yè)術語，半導體工業(yè)用氣體統(tǒng)稱為電子氣體。
2、電子氣體分類：根據(jù)其類別，可分為純氣體、高純氣體和半導體特殊材料氣體。
特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻過程；高純氣體主要用于稀釋氣體和載體
氣體。電子氣體是特殊氣體的重要分支。電子氣體根據(jù)純度等級和使用場合可分為
電子等級，LSI(大型集成電路)級，VLSI(超大型集成電路)級和ULSI級(超大型集成
電路)級。
二、列舉電子氣體的應用
1、電子氣體系統(tǒng)技術的應用
在目前工藝先進的超大型集成電路廠的晶圓片制造過程中，所有的工藝步驟都超過了
通道，使用了大約不同種類的電子氣體。電子氣體輸送系統(tǒng)是指在充分保證工藝和產(chǎn)
品安全使用的前提下，穩(wěn)定地將電子氣體從氣源輸送到工藝生產(chǎn)設備的氣點，無二次
污染，控制工藝所需的流量和壓力。根據(jù)氣體的性質和供應包裝的不同。
2、氨在電子工業(yè)中的應用
氨是一種由氮和氫組成的化合物。它是一種具有特殊刺鼻氣味的無色水溶性氣體。大
多數(shù)氨是用來生產(chǎn)肥料的，也是幾乎所有含氮化合物的前身。高純度特殊氣體在LED
生產(chǎn)中起著至關重要的作用。超純氨是用來確保生產(chǎn)最高質量的LED元件。這是因為
氧氣含有水蒸氣分子，即使是微量的，也能大大降低光能輸出。
3、硅烷的應用
硅烷、硅和氫化合物易于自燃和爆炸，是一種高風險氣體。目前廣泛應用于微電子和
光電子行業(yè)，用于制造太陽能電池、平板顯示器、玻璃和鋼涂料。此外，還用于制造
先進陶瓷、復合材料、功能材料、生物材料、高能材料等高科技應用。
4、笑氣在電子行業(yè)的應用
笑氣，即一氧化二氮和無色甜氣，是一種氧化劑，廣泛應用于電子工業(yè)和食品飲料，
甚至在一些電子產(chǎn)品的開發(fā)中發(fā)揮著至關重要的作用。為了實現(xiàn)電視、手機和電腦顯
示屏的更高分辨率和幀速率，笑氣在下一代超高清3DTFT-LCD低成本開發(fā)（薄膜晶體
管液晶）顯示屏和OLED（發(fā)光二極管）顯示屏中非常重要。
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