特種氣體在顯示屏制造中的重要性
特種氣體在顯示屏制造中的重要性
有源矩陣薄膜晶體管顯示屏（TFT），自20世紀(jì)90年代以來，它一直是我們生活中不
可或缺的一部分。它在我們的生活中隨處可見。我們每天都離不開手機和電視，路上
的廣告和標(biāo)志。
顯示屏的制造與半導(dǎo)體設(shè)備的制造有許多相似之處。不僅生產(chǎn)過程步驟非常相似，而
且在制造過程中需要使用大量的氣體，使用的氣體類型大多相同。
顯示屏生產(chǎn)中使用的氣體主要分為電子特種氣體和電子大宗氣體兩類。電子特種氣體
主要是指硅烷、六氟化硫、三氟化氮、氨和磷化氫的混合物，占制造氣體的52%；電
子大宗氣體是指氦氣、氮氣、氧氣、氫氣、二氧化碳和氬氣，占制造使用氣體的48%。
硅烷：SiH4是顯示屏制造中最關(guān)鍵的氣體之一，與氨（NH3）結(jié)合，形成A-Si晶體管
氮化硅層，與氮（N2）結(jié)合，形成LTPS晶體管預(yù)分子激光退火a-Si，或氧化亞氮
(N2O）結(jié)合使用形成MO晶體管的氧化硅層。
三氟化氮:從A-Si和LTPS顯示屏生產(chǎn)的消耗和使用來看，NF3是A-Si和LTPS顯示屏生
產(chǎn)中使用最多的單一電子材料，而在MO生產(chǎn)中使用的不如N2O。NF3用于清潔PECVD
腔室。對于這種氣體，需要可擴展性，才能在競爭激烈的市場中建立所需的成本優(yōu)勢。
氧化亞氮:LTPS和MO顯示屏都用于生產(chǎn)。從MO生產(chǎn)的消耗和使用來看，N2O已經(jīng)超
過NF3，成為MO生產(chǎn)中最常用的電子材料。N2O是一種區(qū)域性、本地化的產(chǎn)品，由
于成本低，無法使用物流成本高的長供應(yīng)鏈。平均每5.5平方米的素玻璃重約2公斤，
每月生產(chǎn)120K的8.5通常需要240噸N2O MO顯示屏。最大的N2O壓縮氣體拖車每次
只能提供6噸N2O，對于MO生產(chǎn)來說，這種做法成本高，風(fēng)險大。
氮氣：一般大型顯示廠氮氣需求可高達5萬 Nm3/小時，因此現(xiàn)場發(fā)生器是一種具有
成本效益的解決方案。與傳統(tǒng)氮氣廠相比，顯示屏制造中的二氧化碳排放量減少了8％。
氦：氦用于過程中和過程后的冷卻玻璃。由于氦是一種不可再生氣體，由于其成本和
可用性，制造商正在研究減少氦的使用。武漢紐瑞德貿(mào)易有限公司成立于2007年，主
要經(jīng)營特種氣體、稀有氣體、高純氣體、有機氣體、專<span lantinghei="" sc",="" "open="" sans",="" arial,="" "hiragino="" sans="" gb",="" "microsoft="" yahei",="" stheiti,="" "wenquanyi="" micro="" hei",="" simsun,="" sans-serif;="" font-size:="" 13px;="" "="" style="font-size:18px; font-family: arial, helvetica, clean, sans-serif; word-spacing: -1.5px; color: rgb(102, 102, 102);">業(yè)為各行業(yè)定制混合氣體和標(biāo)
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