四氯化硅精制技術(shù)  四氯化硅還原制取多晶硅少不了原料精制這一關(guān)鍵環(huán)節(jié)。  精制提純方法主要有：精餾法、吸附法、部分水解法、絡(luò)合法。根據(jù)原料的組成，可以單獨(dú)使用，也可組合使用。更多信息請(qǐng)點(diǎn)擊

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      1、精餾法

      使用兩級(jí)篩板塔（每塔100塊塔板）即可得到較高純度的四氯化硅。但對(duì)于完全除去硼、磷的氯化物，還可以結(jié)合吸附法進(jìn)行。    

      為避免精餾過程的污染，精餾設(shè)備一般可選用石英玻璃、聚四氟乙烯、高純不銹鋼等。

      流程：原料經(jīng)蒸發(fā)器蒸發(fā)后進(jìn)入第一精餾塔的頂部，塔頂連續(xù)排放低沸物，釜液連續(xù)進(jìn)入第二塔的塔釜，第二塔塔釜連續(xù)排放高沸物，純四氯化硅由第二塔塔頂連續(xù)排出。

      第一塔只有提餾段，主要分離低沸物，第二塔只有精餾段，主要分離高沸物。

      2、吸附法    固體吸附的基本原理是基于化合物中各組分化學(xué)鍵極性不同來(lái)進(jìn)行吸附分離。吸附劑可選用硅膠、活性氧化鋁、，難點(diǎn)是超純吸附劑的制備。    

      資料介紹：經(jīng)過精餾后的四氯化硅經(jīng)過一次吸附，硼的質(zhì)量分?jǐn)?shù)可降低到6x10-9，二次吸附可降低到2x10-10 。

      3、部分水解法    原理是：鹵化硼和其他含硼絡(luò)合物以及鈦、鋁等元素的氯化物比四氯化硅更容易水解，形成不揮發(fā)的化合物。水的加入方式最好用一股含水的濕氣體通過液態(tài)四氯化硅。

      4、絡(luò)合法    效果較好的絡(luò)合劑是四氫呋喃吡咯二硫代氨基甲酸鈉，它能將硼、鈣、鋁、鈦、銅、鎂、鐵的質(zhì)量分?jǐn)?shù)降低到0.01--1x10-9次方。

      5、其他方法    氯化法 ：氯化、氣提、精餾。    當(dāng)四氯化硅含有微量有機(jī)物時(shí)，常加入少量硫酸，一方面硫酸中的水與四氯化硅形成硅膠，硅膠慢慢分散、吸附雜質(zhì)、分層 、分離。