六氟化硫氣體絕緣設(shè)備的絕緣性能和滅弧性能與六氟化硫氣體的質(zhì)量有很大關(guān)系。六氟化硫在生產(chǎn)制造和設(shè)備運行中，會產(chǎn)生多種有毒的具有腐蝕性的氣體和固體分解物，不僅影響到電氣設(shè)備的性能，而且危及設(shè)備運行檢修人員的安全。六氟化硫氣體監(jiān)督對六氟化硫氣體絕緣設(shè)備的安全運行十分重要。
六氟化硫（SF6氣體）監(jiān)督的范圍包括新氣、運行氣及設(shè)備檢修中的氣體監(jiān)督，六氟化硫（SF6）氣體監(jiān)督應(yīng)結(jié)合國家電網(wǎng)公司《高壓開關(guān)設(shè)備技術(shù)監(jiān)督工作規(guī)定》等有關(guān)設(shè)備技術(shù)監(jiān)督工作規(guī)定進行。
從事六氟化硫氣體監(jiān)督檢測人員必須持有行業(yè)頒發(fā)的相應(yīng)崗位的資格證書。
六氟化硫新氣監(jiān)督
（1）在六氟化硫新氣到貨后應(yīng)檢查氣瓶的漆色字樣，安全附件，分析報告和無毒合格證。在新氣到貨的一個月內(nèi)，應(yīng)按照《六氟化硫氣瓶及氣體使用安全技術(shù)管理規(guī)則》和GB 8905《六氟化硫電氣設(shè)備中氣體管理和檢測導(dǎo)則》中的有關(guān)規(guī)定，送有關(guān)檢測機構(gòu)進行抽樣檢驗。
（2）驗收合格后，應(yīng)將氣瓶轉(zhuǎn)移到陰涼干燥的專門場所，直立存放。未經(jīng)檢驗的新氣不能同檢驗合格的氣體存放一室，以免混淆。
（3）對國外進口的新氣，亦應(yīng)按新氣質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)驗收。
（4）六氟化硫氣體在儲氣瓶內(nèi)存放半年以上時，充氣于六氟化硫氣室前，應(yīng)復(fù)檢其中的濕度和空氣含量，指標(biāo)應(yīng)符合新氣標(biāo)準(zhǔn)。
六氟化硫運行氣體的質(zhì)量監(jiān)督
（1）使用中的六氟化硫氣體，應(yīng)按照DL/T 596《電力設(shè)備預(yù)防性試驗規(guī)程》中的有關(guān)規(guī)定進行檢驗。有六氟化硫設(shè)備的單位應(yīng)配備六氟化硫檢漏儀和微水測試儀，并定期校驗合格。
（2）SF6氣體絕緣電力設(shè)備交接、大修時，應(yīng)進行設(shè)備中SF6氣體濕度測量試驗和檢漏試驗，并校驗SF6密度繼電器和壓力表 。
（3）運行中SF6氣體絕緣電力設(shè)備，根據(jù)DL/T 596《電力設(shè)備預(yù)防性試驗規(guī)程》進行設(shè)備中SF6氣體濕度測量試驗、檢漏試驗以及密度繼電器和壓力表校驗試驗， 每月至少應(yīng)記錄一次SF6氣體絕緣電力設(shè)備的密度繼電器指示范圍和壓力表的讀數(shù)。
（4）六氟化硫水分的控制數(shù)值是環(huán)境溫度為20℃的測定值。嚴(yán)禁在零度以下的環(huán)境溫度條件下測試，在其它測試溫度下測得的數(shù)值，應(yīng)按適當(dāng)?shù)姆椒ㄟM行校正。
設(shè)備解體時的六氟化硫氣體監(jiān)督：
（1）設(shè)備解體大修前，應(yīng)按IEC480《電氣設(shè)備中六氟化硫氣體檢測導(dǎo)則》和DL/T596《電氣設(shè)備預(yù)防性試驗規(guī)程》的要求進行氣體檢驗，設(shè)備內(nèi)的氣體不得直接向大氣排放。
（2）使用過的六氟化硫氣體要通過氣體回收裝置全部回收，回收的氣體應(yīng)裝入有明顯標(biāo)記的容器內(nèi)準(zhǔn)備處理。
（3）設(shè)備解體大修前的氣體檢驗，必要時可有關(guān)檢測單位復(fù)核檢測并與基層單位共同商定檢測的特殊項目及要求。
（4）六氟化硫電氣設(shè)備補氣時，如遇不同產(chǎn)地、不同生產(chǎn)廠家的六氟化硫氣體需混用時，應(yīng)參照DL/T 596《電力設(shè)備預(yù)防性試驗規(guī)程》中有關(guān)混合氣的規(guī)定執(zhí)行。